在半导体产业 “缺芯之痛” 的背景下，电子气体被称作集成电路制造的 “血液” 与 “粮食”。其品质直接关系到芯片的良率与性能。

我国集成电路电子特气整体国产化率不足 25%，高端产品严重依赖进口。高端制程中，MFC气体质量流量计/控制的国产化率不足5%，先进制程的关键气体材料和零部件几乎全部由海外巨头垄断。在这样的行业痛点中，苏州爱拓利的 MFC 气体质量流量控制器，正成为打破瓶颈、守护国产 “芯” 的关键力量。

电子特气 “卡脖子”，流量控制是关键

电子气体分为电子大宗气体和电子特种气体。电子特气在刻蚀、清洗、成膜等核心工艺中主动参与反应，对纯度和精准输送的要求近乎苛刻。

· 精度要求极致：电子特气纯度需达到 5N-9N 级别，杂质含量要控制在 ppb 甚至 ppt 级别。任何微小的流量波动，都可能导致杂质引入或反应失衡，造成整条产线报废。

· 场景复杂多样：在刻蚀环节，三氟化氮、六氟乙烷等含氟气体需要脉冲式微量输入；在成膜工艺中，硅烷、乙硅烷等含硅气体则需要持续稳定的流量供给。

· 供应模式特殊：电子特气多以气瓶、集装格运输，且单一环节仅需mL/min的用量，这就要求流量控制器具备 “微量精准、快速响应、稳定可靠” 的核心能力。

苏州爱拓利 MFC 正是针对这些痛点设计，为电子特气的精准输送筑牢了第一道防线。

爱拓利 MFC：从 “卡脖子” 到 “硬支撑”

在月产 5 万片的 8 英寸晶圆厂中，每年需使用 56 种电子特气，采购金额约 5000 万元。如此复杂的气体品类与严苛的工艺要求，对流量控制设备提出了极高挑战。

资料来源：金宏气体招股说明书，中船特气，国金证券等

爱拓利 MFC 凭借三大核心优势，成为国产半导体产线的信赖之选：

1. 精准控流，守护极致纯度

爱拓利 MFC 的流量控制精度可达 ±0.2%，响应速度快至 300毫秒以内。无论是脉冲式微量刻蚀气体，还是持续供给的成膜气体，都能实现稳定输送。这避免了因流量波动导致的杂质污染，确保电子特气在 ppb 级纯度下仍能精准作用于工艺环节。

2. 全场景适配，覆盖特气全品类

从含氟气体的强腐蚀性环境，到氢化物的易燃易爆场景，爱拓利 MFC 采用了耐腐蚀的 316L 不锈钢材质与特殊密封工艺。它可适配含氟、含硅、氢化物等 260 余种电子特气，满足刻蚀、清洗、掺杂等全工艺环节的流量控制需求。

3. 本土化服务，筑牢产线安全屏障

爱拓利作为本土企业，能够提供 7×24 小时快速响应服务。这为产线的长期稳定运行提供了坚实保障，解决了海外设备 “服务慢、适配难” 的痛点。

助力国产替代，共筑产业生态

爱拓利 MFC 不仅为电子特气的精准输送提供了核心设备支持，更通过与国内特气厂商的深度合作，推动了 “特气生产 - 流量控制 - 终端应用” 的全链条国产化。

在国产替代的浪潮中，苏州爱拓利正以 “精准测控” 的硬核实力，为中国半导体产业注入源源不断的底气。